日本京都 (2005年 VLSI 研讨会) ， 2005年6月15日 ? Crolles2联盟今天宣读一篇有关在正常制造条件下采用标准CMOS体效应技术和45纳米设计规则制造面积小于0.25平方微米的六晶体管SRAM位单元的论文*，这个单元尺寸比先前的解决方案缩小了一半。

Crolles2联盟是由飞思卡尔半导体(NYSE: FSL, FSL.B)、飞利浦(NYSE: PHG, AEX: PHI)和意法半导体（纽约股票交易所：STM）三家公司组成的研发联盟，1.5-Mbit阵列已经在联盟位于法国Crolles的300-mm圆晶试生产线上制造成功。Crolles2联盟是业界最大的研发联盟之一，在65-nm 和45-nm CMOS设计节点上居世界领先水平，这篇合作创作的论文强调了联盟在研发上连续取得的成功。

飞思卡尔半导体的技术总监Claudine Simson、飞利浦半导体的技术总监Rene Penning de Vries和意法半导体技术总监Laurent Bosson都表示：“以我们的创新历史和先进的技术为依托，我们成功地证明了在45纳米节点上制造功能电路和超高SRAM密度的可行性。”

先进的Crolles2圆晶制造线正在300 mm上试产90纳米CMOS器件，并计划于2005年试产65纳米CMOS器件。在45纳米节点上取得新成功被视为进入未来的大容量制造工艺的跳板。

满足纳米级的功率挑战
半导体工业客户期望元器件能够变得更小，集成度和性能更高，而功率变得更低。为了满足这一市场需求，半导体制造商不断努力获得更小的尺寸，而在这一过程中又产生了新的复杂问题，给半导体制造技术带来了挑战。

对于每一代新的制造工艺，工程师通常将芯片面积降低二分之一，但是，随着工艺尺寸减小和氧化层变薄，控制漏电流成为半导体工业要解决的一个巨大挑战，特别是对于为电池驱动的产品如手机和MP3播放器设计的CMOS器件，漏电流是一个特别重要的因素。

为了迎接这一挑战，Crolles2联盟正在评估扩展普通的CMOS工艺技术，在45纳米节点制造SRAM单元，同时取得所需的单元和晶体管性能。依靠联盟在90和65纳米节点上的技术经验，工程师开发出了一个采用现有材料和流程并最大化技术模块再用率的工艺。Crolles的科学家还在评估其它的一些技术上比标准CMOS逻辑工艺更复杂的不太成熟的解决方案，包括金属栅极技术和高K（电介质系数）电解质的应用。

利用以前的45纳米研发成果
在IEDM 2004（IEEE国际电子器件研究会）上，联盟曾经在一篇论文中论证过采用普通体系结构为45纳米低成本应用设计晶体管的可行性，最初的方法是通过限制栅氧化层扩大的同时缩小其特征来控制栅极漏电流，然后利用过程感生应变硅（process-induced strained silicon）来补偿随后的性能损失。

作为高密度集成的一个实际论证，现在这个原则正在被运用到功能性亚0.25平方微米六晶体管SRAM位单元的制造过程。为了加快关键层的实现，使开发阶段成本最小化，联盟使用了无掩膜蚀刻技术(e-beam)。不过，这种制造工艺完全兼容45纳米CMOS制造工艺即将使用的光刻技术。这些功能性45纳米SRAM位单元验证了采用普通制造流程在低成本圆晶上制造超高密度器件的概念。

* “0.248μm2 and 0.334μm2 Conventional Bulk 6T-SRAM bit-cells for 45nm node Low Cost ? General Purpose Applications”

关于Crolles2 联盟
2002年4月，Crolles2联盟的成立将意法半导体、飞利浦和飞思卡尔半导体联系在一起，形成了半导体工业内规模空前的研发联盟。三家公司合资成立的Crolles2研发中心将目标锁在半导体研发前沿的特殊技术：基准CMOS工艺、嵌入存储器（动静态RAM）、绝缘膜上硅、模拟CMOS、先进工艺模块、先进铜互连、小功率设计和射频能力。联盟现已投产90纳米制造技术的IC，将继续开发65纳米、45纳米直到最后的32纳米CMOS制造工艺。

关于飞思卡尔半导体
飞思卡尔半导体有限公司（纽约证券交易所：FSL, FSL.B）是全球领先的嵌入式半导体设计制造公司，产品主要目标应用是汽车、消费电子、工业设备、网络和无线通信市场。该公司原是摩托罗拉有限公司的半导体部，50余年后，2004年7月，飞思卡尔半导体有限公司成为上市公司。公司总部设在德州首府奥斯汀，在全球30多个国家设有设计、研发、制造或销售中心。飞思卡尔是S&P 500?的成员，是全球最大的半导体公司之一，2004年销售收入57亿美元（美国）。更多详情请登陆www.freescale.com。

关于飞利浦电子有限公司
荷兰皇家飞利浦电子有限公司(纽约证券交易所: PHG, AEX: PHI)是世界以及欧洲最大的电子公司之一，2004年销售额303亿欧元。主要业务范围包括保健产品、日常生活用品和相关技术，营业机构遍布全球60多个国家，共有员工161,500多人。该公司的主导市场包括医疗诊断影像及病人监测、彩色电视机、电动剃须、照明和硅系统解决方案。详情登录公司网站：www.semiconductors.philips.com.